Динамика процессов диффузного типа в неоднородных, параметрических и нелинейных средах
Предложена методика анализа динамики процессов диффузионного типа в неоднородных, параметрических и нелинейных средах. С помощью разработанной методики впервые получено приближенное аналитическое решение уравнения диффузии для случая одновременного изменения коэффициента диффузии в пространстве и во времени, а также с учетом концентрационной зависимости коэффициента диффузии. Также получено решение уравнения теплопроводности с зависящими от температуры и неоднородным коэффициентом теплопроводности, а также с зависящей от температуры теплоемкостью материала. Предложен общий интегральный критерий времени установления стационарного распределения примеси, глубины ее проникновения в легируемую структуру и оптимального времени отжига примеси при формировании p-n-переходов. Исследовано влияние пространственных и временных изменений коэффициента диффузии на динамику диффузионных процессов и получены условия на законы изменения коэффициента диффузии, при которых происходит наибольшее ускорение или замедление диффузионного процесса. Сформулированы рекомендации по практическому использованию неоднородности легируемой полупроводниковой структуры и проведена оптимизация времени отжига для уменьшения размеров электронно-дырочных переходов и повышения однородности распределения примеси в легированной области.
Ключевые слова: нелинейные явления при распространении волн, твердотельные приборы СВЧ

